本实验室配备有两台电子探针，分别为日本电子生产的JXA-8530F Plus型场发射电子探针及JXA-8230型钨灯丝电子探针。两台电子探针均拥有一套完整的X射线波长和能量探测装置（波谱仪WDS和能谱仪EDS），用以探测电子束轰击样品所激发的特征X射线。由于特征X射线的波长及能量随着原子序数的不同而不同，通过仪器测试得到入射电子在样品中激发出的特征X射线的波长和能量，从而获得所含元素的种类和含量，以实现对样品微区主量元素成分的定性定量分析。针对矿物、岩石以及材料(陶瓷、合金、半导体材料等），目前本实验室可以开展以下方面的实验分析测试：
1、微区形貌观察及成分分布图像拍摄（背散射图像、二次电子图像等）
2、微区化学组成定性（EDS）和定量分析（WDS）
3、微区化学组成线扫描、面扫描分析
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本实验室配备的两台电子探针分别为日本电子生产的JXA-8530F Plus型场发射电子探针及JXA-8230型钨灯丝电子探针，技术指标分别如下：
1、 JXA-8530F Plus型场发射电子探针技术指标
二次电子像分辨率可达3nm (30kV，工作距离11mm)；空间分辨率好于0.1μm；最大束流可达2μA；加速电压可调范围为0～30kV；具有四级物镜可变光栏；图像放大倍数为×40～×300,000，连续可调；电子束位移小于1μm/h；分析元素范围：5B - 92U；X射线出射角为40°；分光晶体有全聚焦型晶体和半聚焦型晶体两种；罗兰圆半径有100mm和140mm两种；具有反光显微镜，分辨率1μm，放大倍率300倍，可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微像，还可以得到上述图像的数字化像。
2、 JXA-8230型钨灯丝电子探针技术指标
二次电子像分辨率可达6nm（工作距离11mm）；背散射电子像分辨率可达20nm（拓扑像、成分像）；加速电压可调范围为0～30kV；束流范围为10-12～10-5A；具有四级物镜可变光栏；图像放大倍数为×40～×300,000，连续可调；电子束位移小于1μm/h；分析元素范围：5B - 92U；X射线出射角为40°；分光晶体有全聚焦型晶体和半聚焦型晶体两种，每道2个晶体，分光晶体交换时间少于1.5秒；罗兰圆半径有100mm和140mm两种；具有反光显微镜，分辨率1μm，放大倍率300倍，可同时显示二次电子像、背散射电子像、彩色光学显微像，还可以得到上述图像的数字化像。
JXA-8230型钨灯丝电子探针
JXA-8530F Plus型场发射电子探针
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实验室人员
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李响，硕士，工程师 主要负责电子探针分析测试技术方法的开发及仪器的维护管理等。 实验室：3号楼116室 办公室：3号楼326室 联系电话： 18984852359 Email： lixiang@mail.gyig.ac.cn |
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李赟，学士，助理工程师 主要负责电子探针分析测试技术方法的开发及仪器的维护管理等。 实验室：3号楼116室 办公室：3号楼414室 联系电话： 18180907357 Email： liyun@mail.gyig.ac.cn |
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实验室预约流程
1、中科院系统师生请前往中科院仪器共享平台，填写实验预约申请，经审核通过，填写分析测试申请表(见附件)；其他科研院校人员可先填写分析测试申请表预约实验，并委托实验技术人员代为填写网上预约。在填写“分析测试申请表”时，请参考本网页公布的收费标准，重点填写预计分析费等内容，并有导师确认签字。
2、通过电子邮件发送申请表扫描件到各负责人对应的邮箱，联系实验室技术人员安排实验，开展实验当天请提交纸质版申请表。
实验室收费标准
微区化学组成定性和定量分析、线分析、面分析等：600元/小时
样品前处理（镀碳膜等）：200元/次
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用户须知
1、为了节省您的经费和测试工作的顺利进行，送样人上机前需准备好合格样品和相关的分析点位图片（在光学显微镜下拍摄的照片及扫描电镜上拍摄的背散射照片），以便送样人快速确认分析位置。
2、本实验室只接收具有平整、光滑表面的固体样品，如薄片、树脂靶、形状规则的光片等，不接收粉末样品和液态样品。具体请咨询相关技术人员。
3、本实验室不接受委托测试任务，由送样人在实验室技术人员指导和协助下完成分析测试。
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